Shimadzu : SolidSpec

UV – VIS – NIR Spectrophotometer
เครื่องวัดปริมาณการดูดกลืนแสง ชนิด UV-Visible – Near IR
รุ่น SolidSpec – 3700DUV

SolidSpec-3700DUV

ตัวเครื่องมีรายละเอียดและคุณสมบัติดังนี้
• เป็นเครื่องวิเคราะห์สารตัวอย่างที่เป็นของแข็งโดยใช้หลักการ การดูดกลืนแสงของสาร
ประกอบที่สามารถตรวจวัดได้ในช่วงคลื่น UV – Visible - Near IR เป็นลำแสงคู่ (Double Beam)
ที่ออกแบบมาสำหรับแก้ปัญหาในการวัดตัวอย่างที่มีขนาดใหญ่ในกลุ่มอิเล็คทรอนิค เช่น Silicon wafer
หรือ Semiconductor ซึ่งสามารถวัดตัวอย่างได้โดยตรง ไม่ทำให้ชิ้นงานเสียหาย

• ควบคุมการทำงานด้วยระบบ Microprocessor และมีแผงควบคุมเป็นระบบสัมผัส (Soft Key)

• ระบบแยกแสงเป็นแบบ High Performance Double Monochromator โดยมี Grating 2 ชุด
สำหรับแยกแสง ซึ่งจะทำให้ค่า Stray light มีค่าน้อยมาก สามารถตรวจวัดค่า Resolution
ของลำแสงได้ละเอียดถึง 0.1 nm สามารถใช้งานได้กว้างในช่วงความยาวคลื่น 190 – 3300 nm
และสามารถตรวจวัดตัวอย่างได้ในช่วงคลื่น Deep UV ที่ความยาวคลื่น 165 nm สำหรับรุ่น
SolidSpec-3700DUV ซึ่งครอบคลุมในช่วงคลื่น UV – Visible - Near IR และสามารถปรับความ
กว้างของลำแสงได้ ถึง 8 step (0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 3, 5, 8nm) ในช่วงคลื่น UV-VIS
และปรับได้ 10 step (0.2, 0.5, 1, 2, 3, 5, 8, 12, 20, 32nm) ในช่วง NIR

• UV - 3700 ได้มีการปรับปรุงให้มีประสิทธิภาพสูงขึ้นโดยเฉพาะเพิ่มตัวตรวจวัด (Detector)
ให้มีถึง 3 ชนิดเพื่อให้ครอบคลุมตลอดช่วงความยาวคลื่น คือ Photomultiplier tube, PMT
(165-1100nm), PbS (1600-3300nm) และ InGaAs (700-1800nm) ซึ่งเป็นตัวสำคัญในการเพิ่ม
Sensitivity เพราะในช่วงรอยต่อระหว่างช่วงคลื่น VIS กับ NIR จะทำให้ Sensitivity จะลดลง UV - 3700
จึงได้เพิ่ม InGaAs detector ซึ่งจะครอบคลุมช่วงความยาวคลื่น VIS กับ NIR จะทำให้ค่า noise
ในการวัดน้อยกว่า 0.00003 Abs. ซึ่งเป็นค่าที่น้อยที่สุดในโลก

• แสดงผลการวิเคราะห์ด้วยจอภาพแบบ LCD ที่ให้ความละเอียดสูง สามารถแสดง Spectrum ,
Calibration curve หรือตารางผลการวิเคราะห์ได้อย่างชัดเจน สามารถปรับความสว่างของจอภาพได้

• สามารถใช้งานได้ในช่วงคลื่นแสง (Wave length Range) ตั้งแต่ 240 – 2600 nm (เมื่อใช้
Detection Unit DDU/DDU-DUV จะสามารถใช้งานได้ในช่วงคลื่นแสง ตั้งแต่ 190 – 3300 nm)
• มีค่าความถูกต้องในช่วงคลื่น UV - VIS ±0.2nm และมีค่าความถูกต้องในช่วง NIR ±0.8nm
• มีค่าความคลาดเคลื่อนในการอ่านค่าซ้ำในช่วงคลื่น UV - VIS ที่ + 0.08 nm
• มีค่าความคลาดเคลื่อนในการอ่านค่าซ้ำในช่วง NIR ที่ + 0.32 nm

• ช่วงการวัดค่าอยู่ที่
o ค่าการดูดกลืนแสง ได้ในช่วง -6 ~ 6 Abs

• ค่า Noise ของตัวเครื่อง
     o ที่ระดับความยาวคลื่น 500 nm, SBW 8nm มีค่า Noise ไม่เกิน 0.0002 Abs
     o ที่ระดับความยาวคลื่น 500 nm, SBW 8nm มีค่า Noise ไม่เกิน 0.0005 Abs
        (ค่า RMS ที่ 0 Abs เมื่อค่า Response เท่ากับ 1 วินาที)
o เมื่อใช้งาน Detection Unit DDU/DDU-DUV
     o ที่ระดับความยาวคลื่น 500 nm, SBW 2nm มีค่า Noise ไม่เกิน 0.00005 Abs
     o ที่ระดับความยาวคลื่น 900 nm, SBW 2nm มีค่า Noise ไม่เกิน 0.00008 Abs
     o ที่ระดับความยาวคลื่น 1500 nm, SBW 2nm มีค่า Noise ไม่เกิน 0.00003 Abs
        (ค่า RMS ที่ 0 Abs เมื่อค่า Response เท่ากับ 1 วินาที)

• มีค่าแสงรบกวน (Stray light)
o ไม่เกิน 0.00008% NaI ที่ระดับความยาวคลื่น 220 nm
o ไม่เกิน 0.00005% NaNO2 ที่ระดับความยาวคลื่น 340 nm
o ไม่เกิน 0.0005% H2O ที่ระดับความยาวคลื่น 1420 nm
o ไม่เกิน 0.005% CHCl3 ที่ระดับความยาวคลื่น 2365 nm

• ขนาดของช่องใส่สารตัวอย่างภายใน (กว้าง x ลึก x สูง) = 900 x 700 x 350 mm
• ขนาดของตัวเครื่องภายนอก (กว้าง x ลึก x สูง) = 1000 x 800 x 1200 mm
• สามารถตรวจวัดชิ้นงานตัวอย่างได้โดยตรงโดยขนาดใส่ชิ้นงานใหญ่ที่สุดได้ขนาด
700(W) x 560(D) x 40(H) mm และมีชุด Automatic X-Y Stage ที่สามารถเลื่อน
หรือหมุนตำแหน่งมุมที่ต้องการวัดได้ โดยควบคุมการทำงาน ด้วยคอมพิวเตอร์
• พร้อมรับประกันคุณภาพ 1 ปี
• ใช้ไฟฟ้า 220 โวลต์ 50 ไซเคิล